广东省真空学会发布《射频电源动态阻抗测试方法》团体标准

2022年7月11日，广东省真空学会根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，批准发布T/GVS 007—2022《射频电源动态阻抗测试方法》团体标准，标准于发布之日起实施。

《射频电源动态阻抗测试方法》规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。该标准适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。

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